Applied Materials高频电源 8300M常见故障的检查排除方法

发布时间：9/20/2023

发布者：YX

Applied Materials高频电源 8300M维修：故障现象一：工作指示灯正常，电流电压调不动检查内容：检查稳压限流及稳流限压旋钮是否调至最小的位置排除方法：把稳压限流，稳流限压旋钮按电镀工艺要求旋至合适位置故障现象二：工作当中，突然没有电流输出，工作指示灯正常检查内容：检查从电源输出端至电镀槽的连线是否断开排除方法：更换或重新连接好连接线

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Applied Materials高频电源 8300M常见故障的检查排除方法
故障现象一：工作指示灯正常，电流电压调不动
检查内容：检查稳压限流及稳流限压旋钮是否调至最小的位置
排除方法：把稳压限流，稳流限压旋钮按电镀工艺要求旋至合适位置
故障现象二：工作当中，突然没有电流输出，工作指示灯正常
检查内容：检查从电源输出端至电镀槽的连线是否断开
排除方法：更换或重新连接好连接线
故障现象三：工作当中，突然没有电流输出，保护指示灯闪烁
检查内容1：检查工作环境温度是否过高，风机是否正常工作
排除方法：排除风机故障，改善通风条件
检查内容2：判断是否瞬间过流保护
排除方法：按开机程序重新开机，电源能否正常工作
检查内容3：输入电压是否正常，有无过压、欠压、三相输入时有无缺相
排除方法：排除配电线路供电故障后，按开机程序重新开机
检查内容4：检查电源整流管有无短路
排除方法：更换整流管
检查内容5：检查功率器件有无损坏，输入整流模块有无损坏
排除方法：更换同型号的功率器件，并检查驱动电路有无损坏，有则更换，更换输入电镀整流器模块。
故障现象四：按正常操作程序开机，保护指示灯一直闪烁
检查内容1：检查工作环境温度是否过高，风机是否正常工作
排除方法：排除风机故障，改善通风条件
检查内容2：判断是否瞬间过流保护
排除方法：按开机程序重新开机，电源能否正常工作

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