MKS AX7696 射频电源过流故障维修方案
MKS AX7696 为 13.56MHz 工业等离子射频电源，设备启动瞬间报过流保护、上电无射频输出是高频故障，过流分为外部负载引发假性过流与电源内部硬件真性过流两类，需分层排查检修，避免盲目更换器件造成二次损坏。
故障初步现场区分：断开腔体负载，接入 50Ω 标准假负载空载试机。空载启动正常、带载立刻过流，故障源于后端负载；空载仍直接触发过流保护，判定电源内部功率回路、采样电路损坏，需拆机检修。
外部负载排查要点：第一检查射频同轴电缆，线缆老化、外皮破损、接头氧化打火会造成阻抗短路，瞬时大电流触发过流；其次排查自动匹配器，内部调谐电容击穿、电感线圈匝间短路，负载阻抗失衡会拉高地线电流；最后确认腔体，腔体电极短路、镀膜残余导电介质堆积，等离子起弧会产生冲击电流，持续触发过流报警。同时核查外部联锁与供电，三相输入电压缺相、电压骤降，也会导致母线电流异常误报过流。
内部拆机检修流程：先断电充分放电，拆除外壳检查主功率回路。重点检测逆变射频功率 MOS 管，过流故障多伴随功率管击穿，使用万用表测量引脚导通状态，击穿后需成对更换同规格射频功率管；其次检测母线滤波电容，电容鼓包、漏电会造成母线纹波过大，启动瞬间电流峰值超标，同步更换老化电容稳定直流母线。
随后检修电流采样反馈单元，定向耦合器、采样电阻、运算放大器是过流误报高发件。采样电阻烧蚀、运放芯片损坏会向主控板传输错误电流信号，设备直接锁机保护，需更换损坏采样元件后重新校准功率反馈参数。辅助电源低压支路短路、驱动光耦漏电，会导致驱动波形失真，功率管导通异常产生尖峰电流，逐一排查光耦、稳压芯片恢复驱动信号完整性。
完成器件更换后，接入标准假负载空载调试，逐步上调输出功率，观测正向电流、反射电流数值，修正主板内部过流保护阈值。带载联调匹配器与腔体，持续运行 30 分钟监测电流波动，无跳变、无报警即为修复完成。
日常预防建议：定期清理电源风道灰尘，避免散热不良加剧功率管老化；每次开机前检查射频接头与腔体洁净度，减少短路起弧引发的过流冲击，延长射频电源使用寿命。
