MKS 远程等离子电源无直流电压输出故障维修指南

发布时间：9/23/2025

发布者：YX

MKS 远程等离子电源（常见型号如 GH100、AX750）的无直流电压输出故障，直接导致等离子体无法激发，需按 “先排除外部问题，再检修内部核心电路” 的原则排查，具体流程如下：

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MKS 远程等离子电源无直流电压输出故障维修指南
MKS 远程等离子电源（常见型号如 GH100、AX750）的无直流电压输出故障，直接导致等离子体无法激发，需按 “先排除外部问题，再检修内部核心电路” 的原则排查，具体流程如下：
一、外部基础排查（无拆机风险，优先操作）
1. 输入供电与连接检查
三相 / 单相输入电压验证：MKS 等离子电源多为三相 380V 或单相 220V 供电，用万用表交流电压档测量输入端（L1/L2/L3/N），确认电压符合设备铭牌要求（如 380V±10%）。若某相电压缺失或偏差超 20%，需检查工厂供电线路（如空气开关跳闸、接触器触点烧蚀），更换故障开关或打磨触点氧化层。
输出线缆与负载检测：断开电源输出端与等离子负载（如反应腔、电极）的连接，检查输出线缆是否有破损、接头松动或氧化（常见于铜鼻子压接处）。用万用表通断档测量线缆导通性，若断路需更换同规格耐高温线缆（建议选用耐 200℃以上硅橡胶线缆）；同时用绝缘电阻表检测负载绝缘性（≥10MΩ），若负载短路（电阻＜1Ω），需先修复负载再测试电源。
2. 设备状态与报错信息确认
指示灯与显示屏排查：观察电源面板指示灯，若 “电源灯” 不亮，说明输入供电未通；若 “故障灯” 常亮（如红色 LED），需通过设备显示屏或配套软件读取故障代码（如 “OC” 为过流、“OV” 为过压），初步定位故障类型（如过流保护触发可能导致无输出）。
急停与使能信号检查：确认设备急停按钮未按下（顺时针旋转复位），远程控制信号（如 4-20mA 使能信号）正常。用万用表测量使能信号端子电压，若为 0V（正常应为 5V 或 24V），需检查 PLC 或控制模块输出，排除外部控制信号缺失导致的输出闭锁。
二、内部核心电路检修（需断电拆机，专业操作）
1. 保护电路与保险元件检查
输入 / 输出保险排查：打开电源机箱，找到输入侧主保险（如 10A/500V 陶瓷保险，标注 “F1”）和输出侧直流保险（如 20A/250V，标注 “F2”），用万用表通断档测量，若保险熔断（电阻无穷大），需更换同规格保险（不可用更大容量保险替代，避免烧毁后续元件）。同时检查保险座是否有烧蚀痕迹，若接触不良需更换座体。
过压 / 过流保护模块检测：电源内部的过压保护（如 TVS 瞬态抑制二极管）、过流保护（如电流互感器 + 比较器电路）若动作，会闭锁输出。用万用表测量 TVS 二极管（如 SMCJ200CA），若正反均导通（正常应为反向截止），说明二极管击穿，需更换；测量电流互感器输出信号（正常应为 0-5V），若无信号，需检查互感器线圈是否开路。
2. 整流与滤波电路故障排查
整流桥模块检测：MKS 电源多采用三相桥式整流（如 6 个晶闸管组成或模块化整流桥 DB100S），断电后用万用表二极管档测量整流桥各桥臂，正常时正向导通（压降 0.5-0.7V）、反向截止。若某桥臂正反均导通（击穿）或均截止（开路），需更换整流桥模块，更换时注意涂抹散热硅脂（厚度 0.5mm），确保散热良好。
直流母线滤波电容检查：整流后的直流母线需通过大容量电容滤波（如 450V/4700μF 电解电容），若电容外观鼓包、漏液或顶部防爆阀凸起，说明电容老化失效。用电容表测量容量，若衰减超 30%（如标称 4700μF 实测 3200μF），需批量更换（建议同时更换所有并联电容，避免新旧电容分压不均），更换时注意电容极性（正负极不可接反）。
3. 逆变与稳压模块检修
逆变 IGBT / 晶体管检测：逆变模块（如英飞凌 FF450R12KE4）将直流转为高频交流，若模块损坏会导致无后续稳压输出。断电后测量 IGBT 的 CE 极电阻，正常应为无穷大，若短路（电阻＜10Ω），需更换模块；同时检查驱动板（连接逆变模块的小板）上的驱动芯片（如 EXB841），若芯片发烫或输出信号异常（用示波器检测为杂乱波形），需更换驱动芯片及配套续流二极管。
稳压控制电路排查：电源的稳压功能依赖电压反馈与 PWM 控制，检查输出侧电压传感器（如霍尔传感器 LV28-P）输出信号（正常应为 0-5V），若无信号需更换传感器；测量控制板上 PWM 芯片（如 UC3845）的输出引脚，若无方波信号，需检查芯片供电（通常为 12V）及周边电阻电容，更换损坏元件。

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